Нанопозиционер

Главная / Каталог / Моторизованные позиционеры / 8NTS Нанопозиционер

8NTS Нанопозиционер

Нано перемещение

Цена доступна по запросу на sales@vicon-se.ru

Описание

8NTS - плоскопараллельное устройство для позиционирования / сканирования (сканирование в одной плоскости). Устройство в монолитном металлическом корпусе (как правило, из высококачественного алюминиевого сплава), в котором с помощью электроэрозионной вырезки и других точных методов сформированы каналы для пьезокерамических приводов, подвижных элементов платформы и т.д. Такая конструкция обеспечивает идеальную плоскостность и линейность движения. Кроме того, у данных устройств высокая механическая прочность по сравнению с хрупкими пьезоэлектрическими трубками.

Все оси 8NTS снабжены емкостными датчиками перемещения включенных в цепи цифровой обратной связи. Это обеспечивает высокую точность и линейность движения , устраняет последствия дрейфа (ползучести) пьезокерамики. Измерительная часть основана на время-цифровом преобразователе (TDC), который физически расположен очень близко к датчикам. Таким образом, он сразу же выдает цифровой сигнал, пропорциональный измеряемой емкости. Это сводит к минимуму влияние внешних электромагнитных помех, а также делает возможным использование длинных кабелей для подключения сканера к контроллеру.

Контроль за сканированием осуществляется с помощью контроллеров 8NSC.

Характеристики

	8NTS-XY-200	8NTS-XYZ-200	8NTS-XYZ-40-SPM	8NTS-Z-60	8NTS-Z-100	8NTS-X-120
Диапазон перемещений по XY, мкм	200	200	40	-	-	-
Диапазон перемещений по оси Z, мкм	-	20	5	60	100	120
Резонансная частота по осям XY, кГц	1	1	5	-	-	-
Резонансная частота по оси Z, кГц	-	30	50	0.5	0.5	3
Минимальный шаг перемещения, нм	0.1	0.1	0.1	0.1	0.1	0.1
Максимальное отклонение от нормали, °	< 0.01	< 0.01	< 0.01	< 0.01	< 0.01	< 0.01
Максимальная скорость сканирования, Гц (линий/сек)	10	10	100	-	-	100
Максимальная масса образца, г	100	100	100	300	300	100
Рабочий температурный диапазон, °C	±40	±40	±40	-	-	±40

Чертежи

Спецификации и цены

Номер модели	Примечания	Перемещение	Диапазон перемещения, мкм	Наличие
2D 8NTS-Z-100	-	Z	100	Под заказ
2D 8NTS-Z-60	-	Z	60	Под заказ
2D 8NTS-XYZ-40-SPM	-	XYZ	40x40x5	Под заказ
2D 8NTS-X-120	-	Z	120	Под заказ
2D 8NTS-XY-200	-	XY	200x200	Под заказ
2D 8NTS-XYZ-200	-	XYZ	200x200x20	Под заказ
2D 8NTS-XYZ-200-A	центральное отверстие	XYZ	200x200x20	Под заказ
2D 8NTS-XY-200-A	центральное отверстие	XY	200x200	Под заказ