(812) 408-81-75
(495) 645-79-05

Нанопозиционер

8NTS Нанопозиционер

  • Нано перемещение
Цена доступна по запросу на sales@vicon-se.ru

Описание

8NTS - плоскопараллельное устройство для позиционирования / сканирования (сканирование в одной плоскости). Устройство в монолитном металлическом корпусе (как правило, из высококачественного алюминиевого сплава), в котором с помощью электроэрозионной вырезки и других точных методов сформированы каналы для пьезокерамических приводов, подвижных элементов платформы и т.д. Такая конструкция обеспечивает идеальную плоскостность и линейность движения. Кроме того, у данных устройств высокая механическая прочность по сравнению с хрупкими пьезоэлектрическими трубками.

Все оси 8NTS снабжены емкостными датчиками перемещения включенных в цепи цифровой обратной связи. Это обеспечивает высокую точность и линейность движения , устраняет последствия дрейфа (ползучести) пьезокерамики. Измерительная часть основана на время-цифровом преобразователе (TDC), который физически расположен очень близко к датчикам. Таким образом, он сразу же выдает цифровой сигнал, пропорциональный измеряемой емкости. Это сводит к минимуму влияние внешних электромагнитных помех, а также делает возможным использование длинных кабелей для подключения сканера к контроллеру.

Контроль за сканированием осуществляется с помощью контроллеров 8NSC.

Характеристики

  8NTS-XY-200 8NTS-XYZ-200 8NTS-XYZ-40-SPM 8NTS-Z-60 8NTS-Z-100 8NTS-X-120
Диапазон перемещений по XY, мкм 200 200 40 - - -
Диапазон перемещений по оси Z, мкм - 20 5 60 100 120
Резонансная частота по осям XY, кГц 1 1 5 - - -
Резонансная частота по оси Z, кГц - 30 50 0.5 0.5 3
Минимальный шаг перемещения, нм 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Максимальное отклонение от нормали, ° < 0.01 < 0.01 < 0.01 < 0.01 < 0.01 < 0.01
Максимальная скорость сканирования, Гц (линий/сек) 10 10 100 - - 100
Максимальная масса образца, г 100 100 100 300 300 100
Рабочий температурный диапазон, °C ±40 ±40 ±40 - - ±40

 

Чертежи

Спецификации и цены

Номер модели Диапазон перемещения, мкм Примечания Перемещение Наличие
2D 8NTS-Z-100 100 - Z Под заказ
2D 8NTS-Z-60 60 - Z Под заказ
2D 8NTS-XYZ-40-SPM 40x40x5 - XYZ Под заказ
2D 8NTS-X-120 120 - Z Под заказ
2D 8NTS-XY-200 200x200 - XY Под заказ
2D 8NTS-XYZ-200 200x200x20 - XYZ Под заказ
2D 8NTS-XYZ-200-A 200x200x20 центральное отверстие XYZ Под заказ
2D 8NTS-XY-200-A 200x200 центральное отверстие XY Под заказ