
8MT200XY основан на паре шаговых (опционально с поворотными энкодерами) или 3-фазных серводвигателях BLDC. Комбинация шарикового винта высокой точности и серводвигателя позволяет пользователю применять высокоточную и самоблокирующуюся систему экономичным способом.
Опционально доступен бесконтактный оптический энкодер.
8MT200XY могут быть дополнительно подготовлены для чистых помещений и вакуум до 10-3 Торр. Для более высокого вакуума необходимо согласование с производством. Дополнительное требование чистоты или герметизации может быть поддержано по требованию заказчика.
8MT200XY может быть легко соединен непосредственно к стандартному неметрическому / метрическому оптическому столу.
Трансляторы 8MT200XY могут поставляться смонтированными на алюминиевой плитке 1B-Al, сотовой столешнице 1HB, стандартном оптическом столе 1HT или плоской гранитной плите 1GB, полностью герметичной от брызг и пыли, чтобы обеспечить длительную и надежную работу
Кроме того, моторизованный XY стол с чрезвычайно низким профилем и компактной конструкцией позволяет 8MT200XY быть встроенным во многие различные типы сканирующих систем и легко монтироваться на наиболее распространенных платформах микроскопов.
Модель |
8MT200XY-4247 |
8MT200XY-4247-MEN1 |
8MT200XY-B43-MEN4 |
8MT200XY-B43-MEN4- |
|
Диапазон перемещения (X х Y), мм |
200 x 200 |
||||
Минимальное перемещение, мкм |
0,625 |
0,625 |
0,1 |
0,1 |
|
Тип энкодера |
- |
Оптический |
Оптический |
Оптический |
|
Модель энкодера |
- |
MEN1 |
MEN4 |
MEN4 |
|
Разрешение энкодера, мкм |
- |
0,5 |
0,1 |
||
Интерфейс энкодера |
- |
TTL |
дифференциальный RS422 |
||
Внутренняя интерполяция |
- |
NO |
NO |
NO |
|
Коэффициент интерполяции 1) |
- |
||||
Период решетки энкодера, мкм |
- |
0,09 |
0,018 |
0,018 |
|
Реперная точка (индекс) |
- |
Да |
Да |
Да |
|
Тип энкодера |
- |
Оптический |
|||
Модель энкодера |
- |
LEn1 |
|||
Разрешение энкодера, мкм |
- |
25 |
|||
Интерфейс энкодера |
- |
Дифференциальный |
|||
Внутренняя интерполяция |
- |
Да |
|||
Коэффициент интерполяции 1) |
- |
x200 |
|||
Период решетки энкодера, мкм |
- |
20 |
|||
Реперная точка (индекс) |
- |
Да |
|||
Абсолютная точность2 2) |
|||||
до калибровки, мкм/мм |
±8/100 |
||||
после калибровки, мкм |
По запросу |
±3 |
±2 |
±1,5 |
|
Односторонняя повторяемость, мкм |
±0,50 |
||||
Двусторонняя повторяемость (пиковое значение)2, мкм |
±2 |
±2 |
±1 |
±0,5 |
|
Двустороння повторяемость (среднеквадратичное отклонение)2, мкм |
±1,5 |
±1,5 |
±1 |
±0,45 |
|
Допуск на угол тангажа3, мкрад/угловых секунд |
±100,00 / ±20,63 |
||||
Допуск на угол рыскания3, мкрад/угловых секунд |
±30,00 / ±6,19 |
||||
Допуск на угол крена, мкрад/угловых секунд |
±30,00 / ±6,19 |
||||
Максимальная скорость (с нагрузкой 4 кг)4, мм/сек |
30 |
50 |
|||
Максимальное ускорение (с нагрузкой 4 кг)5, мм/сек2 |
150 |
250 |
|||
Тип концевых датчиков |
датчики холла |
||||
Полярность концевых датчиков |
Замкнут при срабатывании |
||||
Напряжение питания концевых датчиков, В |
5...24 |
||||
Нагрузка, направляющие, передача |
|||||
Шаг шарикового винта, мм |
2 |
||||
Двигатель |
4247 |
B43 |
|||
Тип двигателя |
Биполярный шаговый двигатель |
3-фазный BLDC двигатель |
|||
Макс. напряжение, В |
48 |
||||
Грузоподъемность (при размещении по центру платформы)6 |
|||||
Горизонтальная, кг |
8 |
||||
Вертикальная, кг |
N/A |
||||
Перемещаемая масса7, кг |
9.5 |
||||
Направляющие |
Ультра-точные рециркуляционные линейные рельсы и каретки |
||||
Материалы и условия эксплуатации |
|||||
Материал корпуса |
алюминиевый сплав |
||||
Покрытие корпуса |
черное анодированное |
||||
Давление окружающей среды |
нормальное атмосферное |
||||
Рабочая температура, °C |
20±2 |
||||
Управление, кабели, интерфейсы |
|||||
Рекомендуемые контроллеры8 |
ACS, 8SMC5-USB |
||||
Рекомендуемые драйверы8 |
ACS, 8SMC5-USB |
||||
Блок питания 9) |
PS36-4.4-4 |
||||
Интерфейсы подключения 12) |
EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP |
||||
Длина кабеля, м |
2 (другие по запросу) |
||||
Дифференциальный выходы 10) |
N/A |
По запросу |
|||
Дополнительные приспособления |
|||||
Основание |
Не требуется |
||||
Сборка Z |
Не доступна |
||||
Дополнительная информация |
|||||
Размер подвижной платформы (W х L), мм |
335 x 380 |
||||
Линейные размеры позиционера (W x L x H), мм |
402 x 450 x 76 |
||||
Стандарт размеров |
Метрическое / неметрическое |
||||
Ортогональность 11), мкрад / угловых секунд |
73 / 15 |
||||
Степень защиты) |
По запросу может поставляться со специальной защитой от продувки воздухом и пыли |
||||
RoHS |
совместима |
1) С квадратурой x4; система может поставляться со стандартным аналоговым SIN/COS энкодером, с возможностью интерполяции сигнала
2) Абсолютная точность и двусторонняя повторяемость измерены с помощью лазерного интерферометра Майхельсона Zygo ZMI 501.
3) Величины углов тангажа и рыскания выполнены с помощью электронного автоколлиматора 11D-ALI-COL с разрешением 1 мкрад. Основная погрешность: 1 мкрад.
4) Максимальная скорость электрически ограничена частотой энкодера и драйвера; максимальная скорость также ограничена параметрами направляющих
5) Максимальное ускорение ограничено максимальным током драйвера, максимальным током двигателя и внешней нагрузкой. Требуемые параметры можно согласовать с инженерами при расчете системы.
6) Грузоподъемность ограничена положением нагрузки и системой направляющих. Требуемые параметры можно согласовать с инженерами при расчете системы.
7) Перемещаемая масса - это постоянный параметр, характеризующий момент инерции системы.
8) Рекомендуемые контроллеры и драйверы подбираются исходя из требований к системе.
9) Рекомендуемый блок питания зависит от требуемого цикла работы системы и нагрузки
10) Дифференционые выходы доступны в пассивном (буфферизация) или активном (модуляция) режимах LCMv2.
11) Платформы могут быть собраны с требуемой ортогональностью поверхностей
12) Скалярное управление может выполняться через USB/ TCP-IP / RS-232 интерфейсы; векторное управление через EtherCAT
Номер модели | Энкодер | Двигатель | Наличие |
---|---|---|---|
8MT200XY-4247 | нет | 4247 | Под заказ |
8MT200XY-4247-MEN1 | да | 4247 | Под заказ |
8MT200XY-B43-MEN4 | да | B43 | Под заказ |
8MT200XY-B43-MEN4-LEN1-025 | да (2) | B43 | Под заказ |